在工業生產中有機硅、多晶硅、氯堿、氯甲烷、氯氣、氟化工中產生大量的的廢硫硝酸,這些副產的廢硫硝酸中含有大量的輕組分、有機物、醇類、烷類有機物組分,如果不進行分離處理、這些廢硫硝酸無法再進行回收利用。對有機物進行加入氧化劑去除,在進行吹脫蒸發,濃縮再利用工藝。