在氟硅工業生產裝置中，大部分的合成反應是放熱反應，如果這些熱量能被利用來加熱其他物質，可以實現熱能的回收利用，并且同時可以極大地節能降耗。原有冷卻器更換成LSRG高效換熱汽化器，LSRG高效換熱汽采用類似釜加熱器的結構，換熱單元采用不透性石墨、特種材料等，換熱塊臥式組裝，管程走反應物氣體，殼程為加熱液體；換熱器外殼設計成類似鍋爐汽包結構，留有加熱汽化后流動空間并設置液位測量管口.
